具有多面检测能力的晶粒挑拣装置及其方法技术资料下载

技术编号:9472811

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本发明涉及一种,尤指一种能够同时撷取多个晶粒的侧面影像,以缩短检测工时,并提升分辨率与检测能力的晶粒挑拣装置及其方法。背景技术于现有的晶粒挑捡制程中,其附加视觉检测功能的必要性日益升高,视觉检测系用于检测出晶粒的五侧面是否具有表面瑕疵,而晶粒的表面瑕疵的检测方法会同时影响检测的效率,并进而影响附加此检测功能的挑捡机的产出。请配合参考第I图所示,现有的视觉检测方式,其利用一取放单元70将一晶粒71由一晶粒供应模块76移动至一检测站72。检测站72系由四面反射...
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