技术编号:9472832
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路设计领域,尤其涉及一种MOM电容器的提取方法。背景技术电容器是集成电路(简称IC)中的重要组成单元,广泛运用于存储器、微波、射频、智能卡和滤波等芯片中。随着半导体集成电路制造技术的不断进步,半导体器件的性能也不断提升。集成电路集成度提升过程中对于电容器如何在有限的面积下获得高密度的电容成为一个重要课题。现有电容器通常包括结电容器、栅电容器、金属-金属(Intra-metal)电容器等等。其中,在高电容密度的场合,结电容器、栅电容器的线性度...
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