技术编号：9472849
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。氮化物半导体例如用于创造新的固态照明、用于无线通信的高效放大器、具有空前的低损耗的先进的电力电子元件，大阵列的新高性能元件。在半导体材料中，氮化镓(GaN)已经显示出具有良好的导电性，导热性和热稳定性。此外，由于其宽的能隙，氮化镓能够在绿色到紫色波长发射并且也适合作为全色发光元件。然而，用于GaN的外延成长的典型的基板，如硅基板分别具有晶格常数和热膨胀系数的巨大差异，即17%和46%;导致了生产期间或之后的大的应力。由于这些过量的拉伸应力，异质结构的弯曲/...
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