技术编号:9472878
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。电容器是积累电荷的一种电子器件并用在例如DRAM(动态随机存储器)中。对于电容器,具有需要大电容的情况。随着电容器表面面积的增加,电容器的电容将变大。因此,为了得到具有大电容的电容器,可以使电容器的表面面积变大。同时,现在希望半导体芯片的面积要小。为了形成该半导体芯片中的电容器,必须使电容器的平面形状变小。然后,如例如专利文献I至5所述,目前,电容器可以形成在布线层的凹进部中。该电容器可以得到具有凹进部的内侧表面的大表面面积,并具有小的平面形状。上述电容器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。