技术编号:9472925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。光子芯片在片内和片外都需要高效率、大带宽、易集成的光耦合结构。光子芯片常用耦合方式有两种,一是采用端面水平耦合结构,二是片上垂直耦合结构。光栅耦合器属于垂直耦合结构,是利用片上光波导的垂直衍射光场实现光信号输入或输出芯片,具有易于在线片上测试、不需要晶圆或芯片预处理、也没有严格的空间限制等优点。如何提高光栅和光纤的耦合效率一直是光电封装的研究热门领域。现有技术中有很多增强耦合效率的方法,如增加多层介质反射镜、金属反射镜、覆盖层以及利用slot效应的大占空比...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。