技术编号：9475614
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明的实施例总体上涉及减少微机电系统（MEMS)器件中的开关的冲击的方 法。 相关技术的描述 数字式可变电容器（DVC)以静电力操作。在该机制下，当电压V被施加在MEMS器 件和控制电极之间时，力作用于可移动MEMS器件。该静电力与（V/gap)2成比例。机械反平 衡力来自于弹性悬挂系统并且通常与位移线性成比例。结果是利用增大的电压V，MEMS器 件朝着控制电极移动一定的距离δ。该移动使间隙减小，继而使静电力进一步增大。对于 小电压来说，找到初始位置...
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