技术编号:9476047
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。压力是一个物理量,其对应于作用于表面上的力与该表面的面积的比率。可以用作测量压力的计量器的装置是压力传感器。大气压力是由处于大气压的空气柱施加在表面处的压力。大气压力随着海拔高度和气候模式而改变。用压力传感器获得的量可以排除环境大气压力并且在此情况下指示过压。如果包含大气压力,则结果指示绝对压力。微机电系统或MEMS可以被定义为小型化机械和机电系统,其中,至少一些元件具有某种机械功能。因为使用用于创建集成电路的相同工具来创建MEMS装置,所以可以在硅片上制...
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