技术编号:9476343
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上的热敏电阻用金属氮 化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器。背景技术 使用于温度传感器等的热敏电阻材料为了高精度、高灵敏度而要求较高的B常 数。以往,这种热敏电阻材料通常为Mn、Co、Fe等的过渡金属氧化物(参考专利文献1~ 3)。并且,在这些热敏电阻材料中,为了得到稳定的热敏电阻特性,需要550°C以上的烧成等 热处理。 并且,除了由如上述的金属氧化物构成的热敏电阻材料,例如在专利文献4中,提 出...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。