一种用于去除光机元件表面微量有机污染物的烘烤装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9480686

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高强度激光在许多高新中得到广泛应用,是当代各国竞相研究的重要领域。随着强激光技术的不断发展,特别是惯性约束核聚变系统的研制,光学系统各个单元器件所要求承受的功率密度越来越高。在实际运行当中,由于运行环境的影响,熔石英光学元件和金属机械元件表面会造成各种污染。激光损伤与微缺陷有着密切的关系,微缺陷是产生激光损伤的重要诱因,大多数的激光损伤都是从缺陷点处开始发生并逐渐向外发展的,因此高通量激光装置的光学元件在系统高通量运行时,光学元件表面的杂质污染物,形成杂质...
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