技术编号：9482848
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。非晶碳化硅SiC纳米材料，由于其独特的形貌与电子结构而呈现出一系列独特的性质。非晶SiC的电子结构与晶化的SiC纳米材料的完全不同，非晶SiC的相关物理性质在一定程度上具有可调性。现在研究较多的是非晶SiC薄膜，其在电子及光电领域，如太阳能电池、发光二极管、颜色传感器、高温工程材料及大面积电致发光装置中应用前景广阔，因而近年来对非晶SiC薄膜的研究较多。人们利用等离子体增强化学气相沉积，热丝化学气相沉积，电子回旋共振化学气相沉积，激光化学气相沉积，和射频溅...
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