技术编号：9485418
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 IGZ0(indiumgalliumzincoxide)为铟镓锌氧化物的缩写，IGZ0派射革E1材即 Ιη203与Ga203共掺杂ZnO的系列靶材，是多元掺杂ZnO体系中的一种。IGZ0溅射靶材 含铟量低，具有很高的可见光透过性，较高的红外光反射率，高电导率，同时它与玻璃材料 有良好的结合性，还具有耐磨性和良好的化学稳定性，其可作为ΙΤ0 (氧化铟锡）的替代品 在诸多领域得到应用。如平面液晶显示器件中，以铟镓锌氧化物作为半导体沟道层材料的 IGZ0薄膜晶...
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