时栅转台热误差测量系统及其测量计算方法技术资料下载

技术编号:9487728

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时栅转台可实现360°高精度角度定位,内部基于时栅传感器进行定位角度测量, 时栅传感器基于时空转换原理,将位移量转换为时间量,以实现高精度测量。时栅转台经过 误差补偿后,角定位精度可达土 10W。但是,误差补偿未考虑温度变化对时栅转台定位精度 的影响,温度对时栅定位精度影响的测量方法研究目前国内外仍为空白。 当时栅转台应用于工业环境时,工况环境温度变化较大,当温度发生变化,时栅转 台自身机械结构不可避免会发生热变形,且时栅数显装置电路中的半导体器件性能会...
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