技术编号：9487739
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光学元件的表面形貌，即使只有微小的凹凸不平，就会引起光的散射致使光学系统的性能变差，从而影响整个系统的性能。因此，准确地测量和评定表面形貌，能正确地识别出加工过程中的变化和缺陷，还对控制和改进加工方法、研究性能与表面几何特性的关系，以及提高产品性能与加工表面的质量都有着非常重要的意义。现有的光学表面形貌检测仪主要由Zygo、Veeco、4D等知名公司生产，通用的形貌检测仪体积较大，其光路系统和三维调整台是分开的，依靠悬臂梁结构将二者连接起来。这种结构稳定性...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。