技术编号:9488409
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。MEMS加速度计是微机电系统的重要组成部分。微机电加速度计由于其体积小、功耗低、易集成、抗过载能力强及可大批量生产的特点被广泛应用于MMU的核心元件。随着MEMS设计方法及工艺技术的发展,微机械加速度计已经广泛应用在导弹制导、家用电器、汽车电子等各个消费领域。通常多轴电容式加计结构需要安装三个加计结构,增加芯片成本同时需要很高的安装精度,三轴一体的加速度计存在着各轴向干扰和线性度有待提高的问题。《多轴电容式加速度计》(公开号为CN101738496A)的专...
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