涂布装置以及高度检测方法技术资料下载

技术编号:9493498

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近年来,伴随着液晶显示器的大型化、高精细化,像素数量也在增大,使无缺陷地 制造液晶显示器变得困难,缺陷的发生概率也在逐渐增加。在这样的情况下,为了提高成品 率,修正液晶滤色器基板制造工序中所发生的缺陷的修正缺陷装置对于生产线来说变得必 不可少。 图23(a)_(c)是表示在液晶滤色器基板的制造工序中发生的缺陷的图。在图 23 (a)-(c)中,液晶滤色器基板包括透明基板;形成在其表面上的被称作黑底51的格子状 图案;以及多组R(红色)像素52、G(绿色)...
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