技术编号：9493817
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 氧化硅或氮化硅等无机薄膜作为层间绝缘膜、钝化膜、防反射膜等而用于各种半 导体元件、太阳能电池等。 例如，太阳能电池中，存在为了提高转换效率而在受光面侧形成由SiN膜构成的 防反射膜，且在受光面的相反侧的面上形成有钝化膜的太阳能电池。 作为太阳能电池，制造通常的结晶硅太阳能电池单元时，在P型硅晶片的表层形 成成为η+层的磷扩散层，且在与下层的P层之间形成pn结。然后，在η+层上形成防反射 膜后，在受光面侧以及背面侧形成电极，根据需要形成钝化膜。 太阳能电池...
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