一种机床双单向切割多晶硅棒的方法技术资料下载

技术编号:9498640

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日本NTC-442DM切片机的切割方式一般分为3种,即双向切割、单向切割和反比例切割,其中反比例切割主要应用于二极管单晶圆棒切割,目前很少使用,常用的是前两种方式,双向切割即钢线运行方式为按照工艺设定的周期往复运行完成切割,新线使用为逐渐递进,此方式普遍应用于单晶切割。单向切割即钢线朝同一方向,在一定的线速下运行完成切割,一搬为每卷钢线切割一刀硅棒,主要应用于多晶切割和有特定要求的单晶切割。由于目前行业内多晶生产的现状,成品的多晶硅棒一般长度较短,切割硅片...
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