前驱体空间分隔式制备铝酸铋薄膜的方法技术资料下载

技术编号:9502211

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本发明设及一种祕基氧化物薄膜材料,具体地说是一种BiAl〇3铁电薄膜材料及其 制备方法。背景技术 阳00引近来人们发现祕基铁电材料如铁酸祕(BiFe〇3)、铁酸祕(BiJisO。)、侣酸祕 度iAl化)等巧铁矿或歴巧铁矿结构的铁电氧化物具有漏电小、抗疲劳特性强、介电常数大 W及对环境友好等特点而备受关注。近年来,人们对铁酸祕度iFe〇3)和铁酸祕度iJisOiz) 的设计、制备、物理化学性质及在生产和生活中的应用有了普遍的认识和理解,2005年 Baet...
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