技术编号:9505090
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于半导体敏感元件测试领域,尤其涉及一种半导体气敏元件的测试方 法。背景技术 当半导体气体传感器技术的发展如火如荼之时,半导体气敏元件测试技术的发展 并未跟上气体传感器技术发展的速度。人类对客观世界的认识和改造活动,往往以测试工 作为基础。工程测试技术就是利用现代测试手段对工程中的各种信号,特别是随时间变化 的动态物理信号进行检测、试验、分析,并从中提取有用信息的一门新兴技术。其测量和分 析的结果客观地描述了研究对象的状态、变化和特征,并为进一步改...
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