一种基于mems线加速度计的角加速度测量装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9505243

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在惯性传感器中,角加速度传感器的用途十分广泛,比如汽车平稳驾驶检测、导弹 惯导系统、硬盘驱动消除抖动、数字相机消除抖动等等。角加速度的测量方法可以分为直 接测量式和间接测量式。直接测量式是指通过敏感角加速度的传感器直接获得角加速度的 信息。间接测量式是指采集与角加速度相关的其它信号,进而通过计算得出角加速度信息。 直接测量式角加速度传感器主要包括压阻式角加速度传感器、压电式角加速度 传感器、液环式角加速度传感器等。这些传统的直接式角加速度传感器已经形成产...
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