技术编号：9505522
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 投影物镜系统在常规照明、环形照明、偶极照明、四极照明等工况作用时，热载荷 会引起系统的波像差劣化，导致波像差中的Z5、Z6、Z7、Z8、Z12、Z13、Z17、Z18、Z28、Z29等 成分变大，因此需要对其进行补偿。 美国专利US6388823B1公布了一种Z5像散变形镜装置，包括光学元件、可变形支 撑环、框架、气动波纹管驱动器，可变形支撑环外侧分布有舌状物，可变形支撑环和框架之 间通过铰链进行连接。通过上下分布的共四个气动波纹管推动可变形支撑环和光学...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。