技术编号：9505523
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。高功率脉冲激光用于打标、切割、钻孔等工业加工时，激光脉冲通过振镜系统在加工工件上进行扫描，从而完成不同设计类型的加工。振镜的扫描速度决定了可采用激光器的重复频率和工件加工的速度。目前已有振镜系统一般采用机械偏转的方式，机械偏转器响应时间长，扫描速度低，限制了工件的激光加工速度，致使加工效率低下。发明内容针对上述现有技术中存在的问题，本发明提供，本发明将机械偏转器偏转角度大和电光偏转器响应速度快的优点相结合，两者协同大大提尚了激光振镜的扫描速度，提尚激光加工...
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