技术编号:9505652
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。由直线电机驱动的H型气浮运动平台,克服了传统的旋转电机加丝杠的系统的响应滞后、运动部件摩擦力大等缺陷,在精密测量、IC装备工件定位和生物医学等领域具有十分广泛的应用前景。H型气浮运动平台的精度定位是以滑块的空间定位来体现出来的,现有的H型气浮运动平台的建模中,往往将直梁视作不会变形的刚体,但是直梁的偏转和扭曲会影响气体轴承的位姿,进而对滑块的精确定位产生影响。这就使得建立的多刚体建模不能准确反应H型气浮运动平台的所有行为特征,进而影响到H型气浮运动平台模型...
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