技术编号:9507431
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近年来,具备薄膜晶体管的显示装置作为半导体装置被实用化。作为显示装置的一例,可以举出液晶显示装置、有机电致发光显示装置等。这样的显示装置具备形成有多个薄膜晶体管、信号线、栅线、源漏电极等的布线部、钝化膜等的阵列基板。薄膜晶体管以及各种布线部通过光刻、干法刻蚀等被构图为规定的形状。在显示装置的制造工序中,在大型基板上形成显示装置用的阵列基板的情况下,加工的面内均匀性降低。例如,在进行刻蚀的腔室(chamber)内,由于排气的影响等,在大型基板的中央部和周边部...
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