技术编号:9507433
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。主动矩阵式(active matrix)显示面板包括多个个呈矩阵排列的像素结构所构成,且各像素结构主要包括薄膜晶体管、显示元件与储存电容等元件。显示面板的薄膜晶体管、显示元件与储存电容等元件的制作将多层膜层包括例如导电层、半导体层与介电层等依序利用沉积、光刻及蚀刻等工艺加以形成。然而,由于光刻工艺无法避免地会具有对位误差,因此实际制作出的元件的各膜层间的相对位置亦会产生一定的偏差。特别是对于大尺寸显示面板而言,由于光罩的尺寸小于基板的尺寸,因此同一膜层的图...
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