技术编号:9510016
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着微加工技术的最近发展,以微米量级的精确度水平处理的各种微机械元件已被实现。通过使用该技术,已经对电容式换能器(电容式微加工超声换能器CMUT)取得了积极的发展。CMUT是被构造为使轻量级振动膜振动以发送和接收(发送或接收中的至少一个)诸如超声波之类的声波(在下文中有时用“超声波”表示)的超声器件。在液体和空气中也具有优良的宽带特性的CMUT可以容易地获得。因此,CMUT对于医疗应用的使用使得诊断的精度能够高于迄今为止使用的包括压电元件的超声器件的使用,...
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