技术编号:9510270
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用液体前体(liquid precursor)制造亚微米(submicron)结构(优选地,半导体亚微米结构),并且具体但非排他地,涉及至少用于在基底(substrate)上制造亚微米结构的方法以及可由此类方法获得的亚微米结构。背景技术半导体装置(如二极管和晶体管)是用于电子装置的基本构件。存在对用于它们的生产的新的、备选的、更廉价和/或改进的制造过程的持续需求。目前,在用于生产用于例如在RFID标签、柔性LED和LCD显示器以及光伏装置中使用...
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