技术编号:9510274
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 使用形成在具有绝缘表面的衬底上的半导体薄膜来构成晶体管的技术受到关注。 该晶体管被广泛地应用于集成电路(1C)、图像显示装置(简单地记载为显示装置)等的电 子设备。作为可以应用于晶体管的半导体薄膜,硅类半导体材料被广泛地周知。但是,作为 其他材料,氧化物半导体受到关注。 例如,公开了使用氧化锌或In-Ga-Zn类氧化物半导体等氧化物半导体来制造晶 体管的技术(参照专利文献1及专利文献2)。 另外,公开了为了提高晶体管的载流子迀移率而层叠电子亲和势(或者导...
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