技术编号：9516718
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 金属氧化物半导体由于价格低廉、气敏性能好、无污染、易于组装、体积小等优点 而被广泛地应用于生活和工业气体传感领域。众多半导体金属氧化物如Sn〇2、Ti〇2、化0、 W〇3、In2〇3等在检测有毒有害气体方面表现出优异性能而受到人们的普遍关注。其中In2〇3 作为一种重要的N型半导体，具备较宽的禁带宽度，环境友好，灵敏度高和响应恢复时间短 等优点在气敏传感器领域发挥着重要的作用。近年来，为进一步提高其气敏传感性能，通过 调控In2〇3的表面性质、尺寸和形貌...
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