技术编号：9522789
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的缩写,意为微机电系统，是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级，自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速，被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的，将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。在MEMS加速度传感器的结构设计中，硅盖帽(Si Cap)的设计是非常重要的一部分结构，它的主要功能是把内部的运动结构和外部的环境隔离开，保...
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