技术编号：9523114
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。挡光式MEMS V0A是光通信系统中一种重要的光无源器件，具有体积小、插损小、动态衰减范围大、波长相关损耗小、偏振相关损耗小、工作电压低、精度高等优点，能很好地适应光通信系统小型化与集成化的发展趋势。如图1，挡光式MEMS V0A的结构主要由双芯插针(包括输入光纤1、输出光纤2和双芯毛细管3)、MEMS芯片4和G透镜5构成。其中，G透镜5靠近MEMS芯片4的端面镀增透膜，远离MEMS芯片4的端面镀高反射膜。MEMS芯片4如图2所示，包含有挡光装置4_1、加...
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