技术编号：9523307
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 当前的光刻设备中，具有精密定位性能的工件台系统是其配备的关键分系统之 一。工件台的定位性能决定了掩模上的图案能否快速精确地成像在曝光基底之上。 如附图1中所示为一种双层结构的工件台。在水平运动台1的上方安装承放娃片 3的旋转台2。激光干涉仪测量模块6发出的激光照射在水平向运动台1上的长条方镜5， 用于测量水平运动台1的水平位置。该水平运动台1在X向和Y向分别有两个激光干涉仪 测量轴(未在图中画出），从两个方向测量水平向运动台1的位置(J，JS化）。 在激...
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