技术编号：9525496
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在一些CVD和ALD处理腔室中，在本文中也称为晶片的基板相对于前驱物注入器和/或加热器组件移动。如果运动产生大于摩擦力的加速力，那么晶片可能变得移位，引起损坏或相关问题。离轴放置的晶片可在移动/旋转的基座上以高加速度/减速度滑动。源于晶片自身重量的摩擦力可能不足以将晶片保持在寻求更高产量的工具上。为了防止旋转力在处理期间移动晶片，可使用额外硬件以将晶片夹持或夹紧就位。额外硬件可能昂贵、难以安装、难以使用和/或在使用期间对晶片造成损坏。因此，在本技术中存在对...
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