技术编号:9525509
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近年来,随着各种消费性电子产品不断的朝小型化发展,半导体元件设计的尺寸也不断缩小,以符合高集成度、高效能和低耗电的潮流以及产品需求。随着场效晶体管(field effect transistors, FETs)元件尺寸持续地缩小,现有平面式(planar)场效晶体管元件的发展已面临制作工艺上的极限。为了克服制作工艺限制,以非平面(non-planar)的场效晶体管元件,例如鳍状场效晶体管(fin field effecttransistor, Fin FE...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。