铜导线结构及其制造方法技术资料下载

技术编号:9525561

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液晶显示器主要是利用薄膜晶体管作为昼面显示控制元件,而铝因具有低电阻(电阻系数2.66μ Ω-cm)、薄膜工艺简单及高经济性等优点,多年来均是薄膜晶体管金属导线的主要材料。然而,随着平面显示器往大尺寸、高更新频率及高解析度发展,尤其是55寸以上、具有3D显示及2k4k (2160x3840解析度)的显示器,铝导线的应用已达到物理极限,缺点也易发显著。例如铝的抗电致迁移能力低,且电阻电容时间常数高,应用在大尺寸、高更新频率及高解析度屏幕薄膜晶体管导线时,容易...
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