技术编号:9525574
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。许多传统的换能器将隔膜偏转转换成与隔膜偏转的大小成比例的电压。这些换能系统的灵敏度经常受以来自各种来源的电噪声的形式的信号干扰的水平限制。在传统的电容式麦克风中,比如信号干扰的少数来源可以包含下面中的一个或多个在麦克风壳体中的声音入口开口的大小;穿过电容器间隙的空气流动;转换器电路系统的阻抗;以及麦克风背容积的大小。发明内容在各种实施例中,公开微机电系统(MEMS)传感器结构。MEMS传感器结构可以包含用于支撑MEMS传感器的引线框架;在引线框架的表面中的...
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