技术编号:9525617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。自从集成电路(integrated circuit, 1C)发明以来,由于各种电子元件(例如晶体管、二极管、电阻、电容等)的集成密度(integrat1n density)持续改善,致使半导体工业经历了快速的成长。集成密度(integrat1n density)的改善主要是来自于最小特征尺寸(minimum feature size)的递减,因而能够将更多元件整合在一指定区域中。这些集成密度(integrat1n density)的改善基本上是二维(2D)...
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