技术编号:9526468
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种具有重力补偿功能的音圈电机。背景技术 音圈电机因其结构简单、体积小、高响应速度、高精度等特点,被广泛应用在光刻 机中的短行程微动单元中。 现有技术中的音圈电机,请参考图1至图3,多采用线圈2独立于磁铁3和背铁la、 lb的结构,且当电机垂向出力时,电机没有对负载的重力补偿功能,在一定程度上增加了电 机发热。 图1是一种传统音圈电机三维结构,其剖面图如图2所示,其电磁结构包括磁铁 3,与磁铁3固连的背铁la和lb(属导磁材料),以及处在磁铁3...
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