标尺和光学编码器的制造方法技术资料下载

技术编号:9527328

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包括标尺和沿标尺移动的检测头的光学编码器已经例如用于制造设备中的移动距离的测量。日本专利第4274751号公开了一种包括标尺的光学编码器,其中在该标尺中,在与长度测量轴垂直的方向上并列配置有移位检测图案(主信号标尺光栅)和参考位置检测图案(参考信号标尺光栅)。如图12所示,日本专利第4274751号所公开的光学编码器7包括标尺70和沿着标尺70相对移动的检测头80。图13是示出标尺70的平面图。如图13所示,在标尺70中,移位检测图案71和参考位置检测图案...
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