技术编号：9538220
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本说明书总体上涉及MEMS器件，并且在一个示例中涉及校准MEMS器件。发明内容一种MEMS器件，包括具有内部环境的空腔；将所述内部环境与所述MEMS器件外的外部环境相隔离的密封，其中所述密封易于响应于校准解封能量而被损坏，并且在所述密封损坏时形成耦合所述内部环境与所述外部环境的通路；以及，能够在所述密封损坏之前和所述密封损坏之后测量所述内部环境的校准电路。。一种校准MEMS器件的方法，包括用校准解封能量损坏将所述MEMS器件内的内部环境与所述MEMS器件外...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。