技术编号：9538889
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 通常用作平板显示器的液晶显示装置、有机化显示装置包含形成有布线图案的 阵列基板。阵列基板上的布线图案中大多包含由侣或其合金形成的单层膜、或者其与钢等 的层叠膜。侣或其合金具有电阻小、反射率高等特性，因此广泛用于阵列基板上的各种布 线、像素电极的图案等。运种侣系图案的制作通常使用包含50重量％ ^上的憐酸、硝酸和 乙酸的蚀刻液。 运种粘度较高的蚀刻液重复使用时，侣、钢溶入其中等一种"疲劳"加剧，因此需要 替换成新的蚀刻液。因此，自该蚀刻加工设备排出的废液分...
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