技术编号：9540599
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 氧化铜锡（ITO)导电膜是指采用磁控瓣射的方法，在透明有机薄膜材料上瓣射 透明ITO导电薄膜锻层并经高溫退火处理得到的产品。 现有技术中，TIO蚀刻液的主要类型及相关专利如下CN201210206045. 5中公开 了一种W盐酸和硝酸为主体的ITO蚀刻液，即王水系蚀刻液，该种蚀刻液的蚀刻反应比较 剧烈，蚀刻过程难W精确把控，盐酸和硝酸均具有挥发性，随着蚀刻时间的延长，蚀刻液的 有效酸组分会发生变化，影响蚀刻过程的稳定性；CN201010139056. 7...
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