技术编号：9543357
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半导体镀膜设备传输模块的传片腔体底部抽气口处需要安装一种过滤结构，以防意外情况下陶瓷机械手发生碰撞时产生碎片，而碎片会沿抽气方向进入控制阀内及栗体内对其造成磨损及损坏。设计人员有时会采用过滤网，过滤网虽然可以过滤较大块的碎肩，但细微的粉状颗粒物却容易从网眼渗透冲入控制阀，进而损坏阀体。另外，过滤网在受陶瓷碎片撞击时容易断裂，且在使用过程中也容易被碎片堵塞，实际过滤效果较差。因此，急需开发一种抽气管路前端过滤碎片的结构，在保证过滤效果的同时，还可增加设备的安...
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