技术编号:9545410
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。设备用基板的表面有时会有将单位图案周期性地排列以形成重复图案的情况。此类的单位图案本来是有规则地排列的,但是有规则地排列的图案有时会包括无意中产生的具有另一规则性的缺陷(defect)。当产生此类缺陷时,此类缺陷在后续工艺中会被转印到设备用基板上形成的图案上,从而最终会产生设备用基板不良的问题,因此有必要事先检查重复图案是否产生有缺陷。通过检查每个图案的形状的方法来检查此类缺陷,在时间和成本的角度来看几乎不可能。因此通过在整个区域上具有周期性的其他图案中检...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。