技术编号：9546292
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 光刻胶由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。感 光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别是溶 解性、亲合性等发生明显变化。经适当的溶剂处理，溶去可溶性部分，得到所需图像。光刻 胶的技术复杂，品种较多。根据其化学反应机理和显影原理，可分负性胶和正性胶两类。光 照后形成不可溶物质的是负性胶；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照后变成可溶物质的 即为正性胶。利用这种性能，将光刻胶作涂层，就能在硅片表面刻...
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