技术编号：9546302
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。参照图1所示，为传统平行光曝光机的光源结构1，传统的平行光曝光机，其采用超高压汞灯10作为光源，该超高压汞灯10首先经过一个椭圆反射镜11聚光，光线汇聚到一个第一平面镜12上，第一平面镜12把超高压汞灯10光线中热量高的IR光线(红外光线)部分透射出去，并将超高压汞灯10中的UV光线(紫外光线)反射汇聚到第二平面镜13上，第二平面镜13再进一步把UV光线几乎无损耗得反射汇聚到一个复眼透镜14上，复眼透镜14学名叫平行光凸透镜阵列，也叫蝇眼透镜，英文名为fl...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。