技术编号：9546303
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光刻机工件台一般以吸盘作为物料(物料或基板)的吸附装置。目前国内外采用的对物料的吸附方式主要为管路真空吸附、静电吸附。1、管路真空吸附 采用管路从外部气源引入真空至吸盘处完成物料吸附，只适用于一般大气环境。真空吸附方式受管路制约，管路传输中有一定真空压降，管路过长会导致吸附力不足；管路在运动中会对吸盘的运动产生拖拽力，影响运动精度，不适用于高精度工件台。2、静电吸附 在吸盘内部埋有电极，为吸盘通电即可完成吸附功能。静电吸附一般在真空环境中使用，若在大气...
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