一种光刻胶清洗组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:9546311

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基因芯片(gene chip)的原型是80年代中期提出的。基因芯片的测序原理是杂 交测序方法,即通过与一组已知序列的核酸探针杂交进行核酸序列测定的方法。光刻工艺 是用于制造集成电路、液晶显示屏和基因芯片等都需要使用的常规工艺,而光刻胶是光刻 工艺中所必须使用的材料。光刻胶又称光致抗蚀剂,由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成 分组成的对光敏感的混合液体。光刻胶应该具有比较小的表面张力,使光刻胶具有良好的 流动性和覆盖。感光树脂经光照后,在曝光区能很快地发生光...
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