技术编号:9546469
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 随着电子技术的迅猛发展,电子设备制造业对半导体器件的需求量不断攀升,在 庞大的需求压力下,半导体制造业的工艺水平和制造技术的更新速度有了显著的提升,同 时半导体制造业的生产规模也逐渐扩大。 在大规模生产环境下,半导体制造工厂的车间中的半导体制造机台数量不断增 加,在半导体制造过程中,通用生产标准一般将若干个同型号的晶圆定义为一个晶圆组 (Lot),每台半导体制造机台一次可处理一个晶圆组。 在半导体制造中,炉管(Furnace)是一种高温制程,会在晶圆(w...
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