技术编号:9547594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体生产制程需要复杂的技术和巨额资金的投入,以为处理器为例,其所需处理的步骤可达数百道,而且每道工艺需要有严格的化学和物理处理。因此,把关好每道加工工序对于生产厂来说是十分重要的。射频识别是通过利用无线射频传输识别附着在物体上的标签来识别、跟踪和控制远程物体的基础技术。RFID与条码系统相比,具有大量信息交换、长识别距离和除金属之外的障碍物传输的优点。半导体生产环境会接触到大量的酸碱等液体,所以,采用玻璃封装的RFID标签是最合适的。发明内容本发明的目的...
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